截至2026年3月19日10:22，科创半导体ETF（588170）下跌2.07%，半导体设备ETF华夏（562590）下跌2.17%。
热门个股方面，金宏气体领涨8.70%，华海诚科上涨2.18%，中船特气上涨0.83%;和林微纳领跌7.67%，神工股份下跌4.22%,中巨芯下跌3.56%。
流动性方面，科创半导体ETF盘中换手2.62%，成交2.17亿元；半导体设备ETF华夏盘中换手1.41%，成交3699.41万元。
规模方面，科创半导体ETF近3月规模增长47.88亿元，实现显著增长，新增规模领先同类；半导体设备ETF华夏最新规模达26.63亿元。
资金流入方面，科创半导体ETF最新资金净流出2931.59万元。拉长时间看，近5个交易日内有4日资金净流入，合计”吸金”7292.16万元，日均净流入达1458.43万元；半导体设备ETF华夏最新资金净流出2853.97万元。拉长时间看，近10个交易日内有7日资金净流入，合计“吸金”1.34亿元，日均净流入达1339.97万元。
消息面上，根据CINNO•ICResearch最新统计数据显示，2025年中国半导体产业总投资额达7,841亿元，同比增长17.2%。在全球半导体行业处于周期性调整的大背景下，这一增长体现了中国半导体产业的发展韧性，也反映出国内推进供应链自主可控的坚定战略。各细分领域投资呈现明显结构性特征，半导体设备、材料领域大幅增长，成为产业投资亮点，其余领域则随产业发展阶段呈现不同发展态势。
申万宏源认为，全环节进入资本开支高峰期，国产半导体设备受益。SEMI预计至2026年中国大陆半导体设备市场依然将继续领跑所有地区，投资金额占全球比重约3成，本土设备厂商持续受益高强度资本开支。此外，设备国产化进入加速期，根据半导体行业协会公布数据，中国大陆使用本土半导体制造设备的占比已从2024年的25%提升至2025年的35%。
相关ETF：科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。
半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。
